深圳市科泰超声自动化设备有限公司
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光刻模具可以超声波清洗吗
2023-08-27
光刻技术作为微电子制造中的核心工艺之一，被广泛应用于芯片制造、光学元件制备等领域。光刻模具作为光刻工艺的重要组成部分，扮演着传递图形信息、实现微米甚至纳米级精度的关键角色。然而，在光刻过程中，模具表面常常会沾附有各种污染物，如光刻胶残留、颗粒物等，这些污染物会直接影响到光刻工艺的质量和稳定性。因此，对光刻模具的清洗变得尤为重要。
